二手 NIKON NSR 2205 i11D #9272637 待售

NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper是一种先进的成像设备,旨在提供高速和低剂量曝光的卓越覆盖性能。该系统使用新的NIKON E37A独特的i-line投影镜头，能够支持200 mm晶圆尺寸范围内的晶圆，并且可以容纳高帧速率（每秒高达80,000帧）。该单元采用新型集成高性能先进OMA（光学模式保证）机,可实现高覆盖精度和均匀曝光。它采用Compact-Axis双级机构设计,可实现无粘连的超高分辨率成像和快速聚焦,允许用户访问各种基板应用程序以实现高通量过程。此工具还具有高性能的14位TTL电源,以及自动PDL补偿工具,该工具用于精确调整方向轴以减小掩码移位的最佳拟合值。这种独特的工具在数据访问和分析功能方面提供了灵活性和准确性,同时最大限度地减少了能耗。NIKON NSR-2205I11D还配备了高级ActiveJob Processing™资产。这种集成的过程控制工具允许用户使用单个界面对所有成像操作进行编程、优化和协调。该模型还与其他系统集成和共享作业数据,从而提供高水平的可靠性和用户生产率。设备还包括独特的自动控制功能,允许用户配置晶片支持、旋转和聚焦设置,以及执行自动晶片居中操作。最后,NSR 2205I11D还具有一个集成的热管理系统,该系统可监控设备的温度并利用散热器消除潜在的与热有关的粘滞。