二手 NIKON NSR 2205 i11D #9276272 待售

NIKON NSR 2205 i11D晶圆步进器是一种高端微光刻设备，旨在满足电子和半导体行业对更复杂、更小型化的零部件不断增长的需求。NIKON NSR-2205I11D以其先进的技术和自动化的工艺提供了先进的精度和晶圆均匀性。NSR 2205I11D旨在提供半导体晶片的精确和可重复曝光,具有最先进的功能,包括真正的对齐和视频迭加功能、三维（3D）成像系统、全自动扫描和反冲管理以及卓越的空中图像稳定性。该系统还包括提高吞吐量的双晶片级、独特的自动级补偿单元以及可重复可靠曝光的高分辨率数字控制机。NIKON NSR-2205 I11 D结合了碰撞检测等先进技术,以防止层厚过大和其他材料缺陷,以及光刻剂量管理（DML）来确定每层的最佳曝光。该工具的全功能数据采集资产（DAS）提供高级实时图像注册分析,包括垂直对齐迭加和注册分析功能。NSR 2205 I11 D还包括一个离线功能,该功能用于对多个晶圆上的晶圆进程进行趋势分析和比较图形,并在本地或远程存储数据。NSR-2205 I11D还加入了先进的蒙版夹具和X/Y级,以便精确、可重复地暴露蒙版图样。此功能允许正确的蒙版配准,并在曝光前与晶片正确对齐。它也适用于长寿命精密对准，无掩模不对准等材料缺陷。该模型使用现场均匀性表征来提高配准精度,以支持关键过程。NIKON NSR-2205 I 11 D还包括一个快速、高分辨率的电动机驱动X/Y级，以实现高精度晶圆对准。其先进的机动控制设备可提供高达10nm的分辨率,用于步进元件的精确对准和定位。此外,它还具有一个一步检查系统,以消除检查单个特征所需的昂贵等待时间,以及可调节的曝光周期,从而提高吞吐量。总之,NIKON NSR-2205 I11D是一种前沿晶片步进器,旨在为需要更小尺寸、更高质量控制和快速周转时间的项目提供最高精度、重复性和准确性。其先进的技术、先进的传感器和自动化的过程确保了过程结果的最高质量和可靠性。该部门还提供卓越的成像、一致性和流程管理功能,为投入的资金提供了真正出色的价值。