二手 NIKON NSR 2205 i11D #9284006 待售

NIKON NSR 2205 i11D是一种用于高端半导体器件制造的两束两场步进器。它能够产生高分辨率为0.2 μ m的关键但高度精确的几何图桉。NIKON NSR-2205I11D拥有多孔径干涉光学设备，具有紧凑的高NA光学系统，以达到尽可能高的分辨率。其光学单元使用反射镜、透镜和弯曲的照明器来精确塑造能量形状，以优化图样检测。这台机器还包括两台linescan相机，其像素大小为0.13 μ m，以及一组低级二进制处理算法，以最大程度地减少计算时间，最大程度地减少对设备生产周期时间的影响。NSR 2205I11D晶片级的设计符合高精度、高速、低噪声操作的要求。线性级由铝合金框架制成，旨在提供刚度、阻尼、非线性运动和稳定性的最佳组合。嵌入式电动机为舞台提供动力，具有脉宽调制和实时自动补偿等特点。这种磁性马达资产与先进的运动耦合和齿轮机构相结合，精确的光束对准。NIKON NSR-2205 I11D的双波长扫描机制既包含广谱（UV到Visible），也包含窄谱（UV），提供更高的精度和更高效的操作。NSR 2205 i11D具有很高的扫描精度，允许在半导体生产线中精确定位和控制晶圆。另外，步进器配有高速快门，以防止晶圆图样像差因亮度强度降低而引起。NSR-2205 I11D用户友好,并且由于有多种流程参数和以太网连接,因此易于维护。与传统步进器相比,此模型更可靠,因为它包含自动对齐功能,可以手动和远程使用。再者，它内置的自我诊断模型允许实时观察信息，如电源电压、照明强度和光谱组成，在出现错误时通知用户。总体而言,NSR 2205I 11D将高分辨率模式脉冲到晶片,使用双场扫描技术在很短的时间内安装较小的模具。其高分辨率的光学和先进的控制设备确保了同步运行和准确的生产，使其成为高端半导体器件制造的理想选择。