二手 NIKON NSR 2205 i11D #9300309 待售

NIKON NSR 2205 i11D
ID: 9300309
晶圆大小: 6"
i-Line steppers, 6".
NIKON NSR 2205 i11D Wafer Stepper是为高精度光刻而设计的先进成像设备。该系统能够产生亚微米分辨率,并具有高度通用的设计,使其能够用于各种生产过程。这个最先进的设备提供高性能成像特性和高度可靠的操作。NIKON NSR-2205I11D具有13英寸大的磁场尺寸,允许机器容纳直径可达200毫米的晶片。它配备了NIKON CFI60光学透镜,非常适合高分辨率、高精度成像。它还包括一个自动晶圆对准工具与边缘识别和自动对准相邻模具。这一资产导致每一次风险敞口的收益率都很高。为了进一步提高产量,该模型采用了补偿实际失真的图像失真补偿设备,以确保图像质量的一致性。步进器具有低真空透镜室和先进的投影光学设计,以减少透镜失真的整体像差,提高系统的精度。它还有一个双快门单元,减少了总曝光时间,提高了吞吐量。此外,NSR 2205I11D还配备了快速对齐机,能够快速测量阵列相对于晶圆的位置。NIKON NSR-2205 I11 D的设计考虑到了高生产率和质量。其创新设计提供卓越的吞吐量,最大曝光速度为每小时180个晶圆。它还具有一个拾取机构,旨在减少晶片污染和空气冲击,而自动夹紧工具确保晶片在暴露时牢固地固定在适当的位置。该资产还采用自动镜筒清洗模型,使光学元件保持最佳状态。总体而言,NSR-2205 I11D是一种先进的成像设备,旨在满足当今半导体生产过程的需要。它提供高分辨率、准确性和吞吐量,同时还提供可靠的操作。其创新的设计和先进的成像元件使其能够进入任何生产线,确保最高产量和质量。
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