二手 NIKON NSR 2205 i11D #9359229 待售
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ID: 9359229
晶圆大小: 2"-8"
优质的: 1995
Stepper, 2"-8"
Wafer stage: Chuck, 8"
Chuck type: Ring type
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA, ISS
Wafer alignment: LSA, FIA
Multiple auto focus
Chamber: ASAHI N2A
Main computer:
Hard Disk Drive (HDD): DKA200, DKA300
Storage drive: DAT Drive (MKA 500)
Illumination type:
Shrinc type: 3
Revolver type: Conv, Ann, Small
Wafer loader, 8"
Loader type: 2 (A3)
OF Type: Flat
In line type: Right
Cassette: Left, right
Reticle loader, 6"
(13) Slots
Lens data:
Lens controller
Lamp power (>650 mW / cm²): 619.047
Illumination uniformity (<2%): 0.75%
Stepping accuracy (<0.050 µm): 0.020/0.022
DIS (Within ±0.050 µm):
X (Min): 0.023um
X (Max): 0.039um
Y (Min): -0.036um
Y (Max): 0.037um
INC (<0.35 µm): 0.245 um (Max-Min)
AST (<0.25 µm): 0.002 um
UL-LR (Within ±0.2 µm): -0.001 um
UR-LR (Within ±0.2 µm): -0.051 um
1995 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D是一款先进的浸入式步进器,具有卓越的图像质量、高生产率和改进的工艺稳定性。现场尺寸为5.0 x 5.0 mm，设计用于亚微米设备制造应用。这种独立设备集成了步进和浸入式扫描仪技术,从而实现了最佳的过程控制。该系统配备高速4K浸入式光学器件，实现卓越的影像品质。利用世界领先的激光模式发生器优化特征尺寸和对比度。该单元采用晶圆专用数据处理体系结构构建，以实现快速模式传输和较短的扫描时间。它还具有专用的图像处理引擎，以实现高吞吐量检查。NIKON NSR-2205I11D旨在提高生产效率和提高工艺稳定性。它具有集成的石刻石刻（LELE）功能,能够同时实现多个光刻层。它与广泛的光学元件兼容，包括高数值光圈浸没式透镜、环形照明透镜和离轴照明系统。该机还具有内置的曝光场缝合和曝光模式缝合功能，以实现快速晶圆探测和快速曝光时间。NSR 2205I11D还配备了一个快速的z驱动选项,可以更显着地减少曝光时间。它装有操纵杆和6轴电动舞台，用于精确的对准和曝光控制。NSR-2205 I11D是次微米器件制造行业经济高效可靠的高生产率晶片步进器。它是先进的光学和成像技术,即使在最具挑战性的制造过程中也能提供卓越的图像质量和过程稳定性。此外，其高速工厂数据处理和电源暴露功能使其成为任何晶圆制造的高度可靠和经济高效的工具。
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