二手 NIKON NSR 2205 i11D #9361850 待售

ID: 9361850
晶圆大小: 4"
优质的: 1997
Stepper, 4" Wafer type: Flat Chamber type: Sendai S09 Altitude: Sea level Lens type: 5IB5 Resolution: 0.35 Micron Computer type: VAX 4000/90 Expansion unit: Floppy Disk Drive (FDD), 3.5" Data type External Hard Disk Drive (HDD) Reticle size: 6" Illuminator type: 1750 W Moveable NA: 0.50 to 0.63 LLTC Reticle libraries PPD Bar code reader (2) Wafer loader indexers Wafer loader type: Type 2 Wafer loader pre-alignment 2 Wafer loader in-line: Left FIA LSA SRA VRA FC2 Chip leveling Auto focus 5-points Ceramic chuck type: 3-Pin rings No movable microscopes No shrinc 1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i11D是一种高性能的自动晶圆步进器,设计用于半导体光刻的最佳吞吐量。它由一系列高级以太网和RS422接口支持,用于多个计算机平台和远程访问。NIKON NSR-2205I11D具有高度移动性,非常适合需要对单个基板或全晶片进行高分辨率成像、高速缝合、亚微米配准、覆盖和临界尺寸(CD)控制的各种应用。NSR 2205I11 D先进的多轴运动控制技术和高度发达的舞台设计确保了在所有运动轴上的准确、可重复的定位,从而实现了最佳的生产力和成本效率。其高吞吐量和大聚焦深度使其成为小型和大型基板成像的理想平台。NIKON NSS 2205 i11D微透镜系统的多层设计,在高数值光圈下可实现最佳分辨率,有利于优越的分辨率和优越的场均匀性。直观的用户界面提供了对所有参数的方便访问,使得设置和运行作业变得容易。NSR 2205 I11 D由车载Gigapler Series 6600图像处理器提供动力,提供快速的图像测量、最大的吞吐量和卓越的图像质量。NIKON OptiScanHigh技术进一步补充了该处理器,它在测量密集特性方面提供了无与伦比的精确度。在工业自动化方面,高性能的NIKON NSR-2205 I 11 D支持现代通信协议,包括以太网和RS422,使其成为实施广泛应用程序的可靠平台。此外,系统还可以由PLC和PC控制,并提供电机和可对接晶片卡作为定制功能的选项。NIKON NSR-2205 I11 D提供了一系列先进的功能,方便高效的光刻.直观的用户界面和强大的性能使其成为所有光刻应用的可靠选择。
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