二手 NIKON NSR 2205 i11D #9364623 待售

NIKON NSR 2205 i11D
ID: 9364623
晶圆大小: 2"-6"
Stepper, 2"-6".
NIKON NSR 2205 i11D是为高级光刻应用而设计的最先进的晶圆步进器。该设备具有全自动晶片处理系统,以及增强的光学单元,以提高曝光时的精度和精度。NIKON NSR-2205I11D可以轻松处理各种设备和工艺条件,包括具有更高纵横比功能的大型设备。NSR 2205I11D具有用于高级光刻应用的更新光学机器。该工具具有较高的NA光照度,并具有自动对焦和自动对准功能,可确保精确对准和极其精确的曝光。该资产还得益于扩展的聚焦深度以及高度精确的聚焦和失真校正,从而为用户提供可预测的设备结果。此外,该模型还配备了先进的覆盖控制设备,以在广泛的布局条件下保持光刻精度。该系统具有全自动晶片处理单元的功能,可帮助提高吞吐量并减少与手动晶片处理相关的停机时间。NSR-2205 I11D有一个集成的机械臂,一次最多可处理40个晶圆,每个晶圆多次曝光以提高吞吐量。此外,MicroSpot技术可用于减少晶圆透镜像差。NIKON NSR 2205I 11D提供高达0.1 µm的打印分辨率,具有较高的工艺纬度和较宽的曝光动态范围,可用于高级工艺的高分辨率打印。机器还有一个先进的过程控制工具,提供闭环曝光和过度曝光控制。资产配有晶圆级计量模型,有助于确保过程完整性和促进产量优化。NIKON NSR-2205 I 11 D是高级光刻应用的高精度印刷的理想解决方桉。设备的特点确保了最佳的曝光精度和可重复性,以及高吞吐量。该系统还具有灵活性和可扩展性,可确保在各种工艺条件下的最大性能。NIKON NSR 2205 I 11 D是先进光刻应用的理想选择。
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