二手 NIKON NSR 2205 i11D #9364624 待售

NIKON NSR 2205 i11D晶圆步进器是一种精密晶圆步进器,为半导体工业提供了一系列功能。步进器的12英寸自动晶片尺寸为200毫米至300毫米，最大晶片厚度为0.3毫米，重迭0.25毫米。该设备具有高分辨率的视觉设置与电动N2/O2发电机集成到stocker和具有空气轴承阶段。该系统还具有处理多种设计应用的能力，包括N2/O2保护、加热功能和应用于晶片的激光标记。NIKON NSR-2205I11D Wafer Stepper的双CCD相机提供出色的图像拾取精度和高分辨率成像能力。专有的图像拾取单元利用两台2048 x 2048像素CCD相机，对比度极佳，比色精度高，分辨率为0.2微米或更高。它还允许转弯旋转，这样晶圆的正面和背面都可以同时成像。NSR 2205I11D Wafer Stepper还配备了高精度对齐机。该工具在双相机资产中共有8个配准到5个光学标记上，从1mm的配准点获得0.11微米的精度。该模型还具有独特的光学设计,以确保精确测量不同的场尺寸。NIKON NSR-2205 I 11 D晶圆步进器也有高精度曝光设备。该系统具有高性能的快门/探测器机构，并结合了创新的照明技术，以确保曝光照射的足够均匀性和层厚的均匀性。这个单元还提供了一个长寿命快门，确保最大的图像精度。NSR-2205 I 11 D晶圆步进器还包括高精度投影机。这个工具配备了一个5区照明镜，允许从0.6到0.9的5个不同的数值孔径。资产有6轴调整包括精调所有三轴的亚微米分辨率精确聚焦和散光补偿。总体而言,NSR 2205I 11D Wafer Stepper是一种高度精确的模型,具有出色的图像拾取、晶圆对准、曝光和投影功能。该设备非常适合于生产在纤薄基板上的微米级图桉，并能够高效生产先进的半导体器件和组件。