二手 NIKON NSR 2205 i11D #9379192 待售

NIKON NSR 2205 i11D
ID: 9379192
Stepper.
NIKON NSR 2205 i11D是为光刻设计的最先进的晶圆步进器。设备配置方便,可通过重复步骤执行掩蔽和蚀刻操作。步进器能够处理200 mm和300 mm的基板,使其在各种应用中用途极为广泛。NIKON NSR-2205I11D利用先进的光学器件,包括一个高数值孔径,以提供卓越的分辨率。该系统还利用专有的对准单元来优化照明可重复性。有多种数值孔径选项,可以准确暴露微小的特征。该机可处理0.30至0.75 μ米的暴露。NSR 2205I11D具有自动化的舞台工具,允许操作员对多达25个不同的位置进行编程。这使操作员可以使用"矢量匹配"或"自动测量"功能快速准确地调整基板对齐。另外,步进器附有二维运动控制,具有高精度和重复性。NSR 2205 i11D的光学资产由一系列有源元件构成,如准直镜、棱镜、五角镜和圆柱透镜模型(CLS)。所有这些元素都是为了优化性能和提供卓越的图像质量而设计的。使用这些组件,设备能够产生高达0.27 μ m的分辨率。NSR 2205 I 11 D是一个健壮的系统,采用先进的技术设计,并使用高级组件构建。该设备安全灵活,具有广泛的流程应用程序。这种晶片步进器具有卓越的多功能性、动态曝光控制和高分辨率,非常适合各种光刻需要。
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