二手 NIKON NSR 2205 i11D #9383687 待售

NIKON NSR 2205 i11D是一种着名的用于光刻目的的晶圆步进器。它是用于半导体铸造厂和微加工的最先进的生产工具之一。该装置配备了双室设计和最先进的光学器件，保证了高达1 µm的高端分辨率。NIKON NSR-2205I11D配备了先进的自动对准功能,可实现高精度晶圆放置精度。它还允许快速晶圆交换和最小化迭加误差。此外,该工具还具有环境补偿功能,有助于在不断变化的环境中稳定光刻性能。该装置配备了提供全场精度的直列式广域激光干涉仪。它还包括一个微像素可寻址监视器，帮助诊断和监测随着时间推移模式化结果的变化。该设备还能够运行多个标线,可用于单层和双层进程运行。该装置的LED装有聚焦环，其照度可调至0.25 mW/cm2，用于均匀照明。这款轻型发动机提供了优越的均匀性和高达5 µm的小场尺寸。光源可以在目标能量的0.6% ±内运行，从而最大限度地减少了模式误差，并消除了垂直步长误差的风险。NSR 2205I11D采用了最新的ESEDRF（增强光谱发射衍射还原滤波器）技术,从而提高了图像质量并提高了聚焦深度。该设备还采用了独特的跨场校正软件，有助于在相同的方向和景深上重新调整传输的模式。总体而言，NSR 2205 I11 D是一种先进而强大的晶圆步进器，非常适合电气和光电集成电路的生产。它是最苛刻的光刻和微加工要求的理想选择。