二手 NIKON NSR 2205 i12 #293606914 待售

NIKON NSR 2205 i12
ID: 293606914
Stepper.
NIKON NSR 2205 i12是一款高精度、12英寸晶圆步进器,旨在为用户提供最高水平的光刻性能。这一型号是专门为半导体器件制造而设计的,其基于UV的i-line光源和高达8 "x 10"的场大小。2205 i12采用高速、高精度成像设备,利用H-APO(高精度并行光像)技术提供快速可靠的对准性能。这使机器能够在晶圆表面上精确定位掩模图样,可重复性高达0.2微米。此晶片步进器具有专门的照明功能,包括在一次曝光时提供顶部和底部照明的光学器件,以及用于调整图像对比度和减少临界尺寸变化的阶梯宽照明。由于电磁干扰和振动水平低,它在整个对准和扫描操作过程中也具有稳定、可靠的成像。此晶片步进器使用先进的自动自适应能力来调整光/暗相位和对比度平衡,以提供最佳成像结果。它还采用了改进的M-EMRS(Multi-Energy Mask Reference System)技术,以更稳定的曝光条件改善了成像过程。NSR 2205 i12还具有广泛的增强单元功能,包括自动剂量控制和先进的DENS版本模块,这都有助于提高半导体器件制造工艺的吞吐量。此外,它还配备了全新的头部PI保护机,通过防止对细腻区域边缘造成意外损坏,确保工件的安全。总体而言,NIKON NSR 2205 i 12是一款用途广泛且可靠的晶圆步进器,提供卓越的性能、易于操作和改进的工艺吞吐量。它旨在为用户提供各种先进半导体器件制造工艺的最佳光刻性能。
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