二手 NIKON NSR 2205 i12C #293619763 待售
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NIKON NSR 2205 i12C是一种用于光刻的高度精确和通用的晶圆步进器。它可以加工多种半导体材料,最常用于在集成电路或其他先进半导体结构上制造结构。设备配备智能无接触对准传感器和NIKON NSR-i控制操作平台。NSR-i平台运行着一个先进的异步控制系统,能够处理大面积晶片,同时保持高吞吐量和准确性。NIKON NSR-2205I12C晶片步进器具有超高分辨率成像单元,能够再现微观特征,步长极小,可达0.108微米。这种精度允许高精度制造晶体管、电容器和其他特性。此外,高精度对准传感器使扫描仪能够以非凡的精度将掩模精确对准基板,确保高质量的结果。NSR 2205 i12C晶片步进器还具有先进的高精度步进/扫描仪机构。该机构可确保高精度晶圆扫描,同时最大限度地减少噪声污染。此外,该机制可以实现较高的吞吐量水平,同时消除跟踪工件。NSR-2205I12C晶圆步进器还配备了先进的清洁室结构。这保证了在光刻操作过程中环境无灰尘和颗粒。该体系结构还确保该过程完全自动化和可重现。此外,NIKON NSR 2205 i12C晶圆步进器还配备了流程恢复硬件和软件,可防止流程错误并最大程度地减少停机时间。机器还提供对过程的实时监控和控制以及过程稳定性控制功能。这使操作能够针对高产量和产品可靠性进行优化。简而言之,NIKON NSR-2205I12C晶片步进器是一种高级、高度精确和通用的工具,能够产生高产率、高通量和卓越的产品可靠性。是先进半导体制造应用的理想选择。
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