二手 NIKON NSR 2205 i12C #293794461 待售

NIKON NSR 2205 i12C
ID: 293794461
Stepper.
NIKON NSR 2205 i12C是为高分辨率和高性能半导体器件生产而设计的高性能晶圆步进器。NIKON NSR-2205I12C具有高产率和最小缺陷率,这要归功于高精度对准和曝光精度。步进器用于生产多种设备类型,包括内存、逻辑、BiCMOS和双极,以及细线图桉要求。为确保最大精度,NSR 2205 i12C具有自主模式校正系统和分段掩码图像重建(SMIRTM)。对准系统采用12相机电子自动对焦和视觉模式识别系统。独特的内部透镜构造最大程度地减少了由极价色差引起的失真,而其高刚度结构减少了不需要的振动。使用8元物镜,光圈为F4-F5.5。步进扫描仪允许通过8通道光学器件同时进行8次曝光,并且拥有200毫米的可用视野。可通过图像编辑器从高达25 µm的设备输入数据,在低写入电流下,充电最小。扫描仪还允许非接触式全息自动校准光学工作站。NSR-2205I12C还拥有各种层处理和堆迭选项,以及具有直观用户界面的优化扫描仪控制面板。该软件提供多种功能,从3D数据查看到预扫描硬件诊断。该设备还支持各种行业标准,例如Job Control Language (JCL)和Gerber,以及支持GDS II格式。NIKON NSR 2205 i12C旨在提供各种设备类型的可靠且经济高效的产量。它具有高性能和易用性,是顶级半导体生产的理想选择。
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