二手 NIKON NSR 2205 i12C #293817941 待售

NIKON NSR 2205 i12C
ID: 293817941
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.57 Resolution: 450 nm DCO: 55 Throughput (WPH): 70.
NIKON NSR 2205 i12C是专门为下一代光刻工艺设计的晶圆步进器。该工具具有先进的光学元件和精密的晶圆运动功能,旨在以0.10 μ m的更高分辨率实现高分辨率光刻。NIKON NSR-2205I12C提供了高度的精确度,从而增强了晶圆上的图样,具有非常紧密的线宽和间距。步进器配备了高速数据采集设备和可大幅减少处理时间的快速扫描速度。NSR 2205 i12C可用于从背光光刻到光电成像的各种过程。步进器使用集成电路(IC)光刻工艺,有助于提高器件的产量和可靠性。它包括一个I-line照明系统,在整个晶片上提供均匀的照明,确保无论晶片大小如何都保持一致的曝光质量。NSR-2205I12C还有一个专门的光学模块,它提供了一个均匀的曝光场,由于精确的步进光学,没有失真。这样可实现高达0.10 μ m的完整步进和重复阵列功能。此外,步进器能够自动调整其光学基座、速度和加速度,以适应不同类型的基板。这确保了即使在扫描大表面基板时的卓越性能。此外,NIKON NSR 2205 i12C晶片步进器还配备了高精度无摩擦晶片级,可精确定位晶片在基座上,而不会对晶片造成任何机械损坏。它还具有高度精确的晶片对准功能,可实现晶片的最佳定位,提高整个晶片结构的工艺精度和均匀性。最后,NIKON NSR-2205I12C使用全自动控制单元,使用户可以轻松地监视和控制该工具。步进器包括一个可靠的机械机器,消除触觉错误,这可以显着加快生产,同时提高产量。NSR 2205 i12C也非常可靠,非常适合尺寸精度至关重要的复杂应用。
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