二手 NIKON NSR 2205 i12D #293600668 待售
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NIKON NSR 2205 i12D是为先进半导体芯片制造工艺设计的高精度晶圆步进器件。它提供了多种功能,旨在提高晶圆处理精度和吞吐量,同时提供处理复杂模式的灵活性。NIKON NSR-2205I12D具有一个自对准的机动纳米X运动级,能够实现25 nm的步进精度,并随着时间的推移有最小的漂移。这一阶段结合其独特的双面扫描设备,允许同时高精度地多层曝光半导体晶片。此外,NSR-2205I 12D有一个双镜头投影系统,可以从3倍调整到10倍放大,以适应一系列的要求。NSR-2205 I 12 D还包含许多其他功能,使其非常适合先进的芯片制造过程。它拥有一个独特的空气轴承单元,用于投影光学器件和舞台的高精度运动,以及一个低噪声扫描处理单元,以尽量减少振动。此外,它的主动级补偿机器可帮助它在各种处理条件下保持高精度,而其可追踪性管理工具可确保每个晶片都能被跟踪和记录,而不会出现任何错误。在控制方面,NIKON NSR 2205 I 12 D使用用户友好的图形用户界面(GUI)来完全控制设置、操作和数据日志记录。此直观资产可用于检查对齐和未对齐的准确性,检查数据是否存在关联和错误,或用于为高级生产方桉创建脱机程序字符串。该模型还提供了自己的用于图像捕获的Viewer Tool软件,该软件可用于调试、模拟和其他目的。总体而言,NIKON NSR-2205I 12D是一个令人印象深刻的晶圆步进设备,非常适合最复杂的芯片生产过程。其先进的功能和多用途的操作使其成为目前最准确可靠的系统之一。
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