二手 NIKON NSR 2205 i12D #293606678 待售

NIKON NSR 2205 i12D晶片步进器是为最高性能和可靠性而设计的先进光刻设备。该系统利用专有的i-Line和DUV照明技术,为先进的晶圆制造提供中场分辨率、高吞吐量和极高的精度。步进器提供高场分辨率和高动态范围成像,以确保在整个工艺步骤范围内的最佳光刻性能。照明单元的设计同时使用红外激光和宽带照明以及专有的探测器设计，在整个曝光光通量范围内提供均匀的成像。激光的专利设计和特殊的光学方法最大限度地减少了DUV和i-Line成像的波长误差和焦点误差。步进器的集成设计允许全自动晶圆步进过程。CCD控制架构通过i-Line四象限投影机提供晶圆位移的精确控制，以保证高通量运行。采用集成EDB板和内置补偿软件两种控制器，保证了低粒子条件和高跟踪精度。步进器与各种晶圆材料和加工配方兼容，通过提供各种模式类型功能的多功能设计。通过采用具有像差校正的高效镜片设计和优化的光通量控制资产来确保边缘放置精度,可以在工具中实现I-Line处理。此外，该模型还具有支持高密度、全场光刻工艺和高对准精度的自动对焦算法。NIKON NSR-2205I12D晶片步进器还包含了广泛的安全特性，包括防静电技术、氮气注入以及安全操作的互锁。内置的预测故障检测和终止停止设备可确保步进器及其组件免受任何潜在损坏。总之，NSR-2205I 12D晶片步进器提供了先进的光刻性能、高动态范围成像和多用途的模式型兼容性。其集成设计提供高通量、低粒子操作、高对准精度。此外，其安全特性，包括氮气注入和防静电技术，为系统及其部件提供了额外的保护。