二手 NIKON NSR 2205 i12D #9092552 待售

NIKON NSR 2205 i12D是一种先进的晶圆步进器,具有高精度的阵列系统和卓越的生产率。NIKON NSR-2205I12D是一种先进的成像步进器,采用"自上而下"和"跨闸"模式技术,非常适合IC设备和电路板等多种应用。该步进器具有多种场尺寸,可支撑从薄薄玻璃（UTG）和薄玻璃（TG）到低照明基板的各种基板。它具有可变的狭缝宽度生成功能,可提供精确的曝光,并提供高精度的线宽和高达0.3 μ m的深度阵列。晶圆步进器配备了一个高性能的投影光学系统，包括两个透镜和八个反射镜。该系统设计速度快,运动平稳,放置精度好.与单场技术相比,它还实现了双场模式,这需要更少的时间和更少的操作。NSR-2205I 12D还拥有具有阵列性能支持和FOUP处理功能的高级控制系统,以及高速45 nm扫描步骤,以确保最高吞吐量。它还配备了模式数据可视化，使基板均匀性的评估简单可靠。此外,它还提供了一整套预对齐、对齐和审核功能。NIKON NSR-2205 I12 D的其他特点包括300 mm级、160 mm装载机间隙、每秒15,000步的最大定位速度和± 1 μ m的最大精度。晶片步进器还配备了自动定心装置，以确保基板始终被精确定位以进行曝光。NSR 2205 I 12 D专为满足广泛的生产要求而设计,为高精度阵列设计提供了更高的生产率、效率和准确性。此步进器具有高评价的双场阵列能力,非常适合从微处理器到硬盘驱动器、MEMS和LED制造的一系列应用。