二手 NIKON NSR 2205 i12D #9096016 待售

NIKON NSR 2205 i12D
ID: 9096016
晶圆大小: 6"
优质的: 1997
i-Line stepper, 6", 1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i12D是由NIKON Corporation开发的高性能晶圆步进器。它是最先进的晶圆步进系统之一,专为生产半导体器件、传感器和离散元件而设计。该设备采用12英寸、5000瓦、UltraViolet (UV)激光和NIKON专有的i12D光谱束组合(SBC)技术。这样可以实现真正的单束全芯片互连和良好的成像精度。该系统基于先进的自动化控制过程和集成的E级双轴、电机扳手级、高分辨率腔室控制、低漂移操作,以确保周期时间短、成像均匀。NIKON专有的Dual UniGlide安装平台,旨在允许相对广泛的晶圆尺寸,消除晶圆翘曲,并允许快速准确地加载不同的晶圆尺寸。NIKON NSR-2205I12D通过强大的ScriptControl编程提供自动模式生成。此外,该单元能够直接控制某些机器和软件,快速定制程序,优化生产率。还支持模式匹配、重迭、多次曝光和盲转弯,从而提高生产效率和提高图像质量。NSR-2205I 12D出色的成像精度是由于其高性能、200 mm焦距镜头。它的自动对焦机在很宽的温度范围内保持精确的对焦范围,当温度降到某个点以下时提供万无一失的电动工具警报。资产的精密,溷合投影光学也结合了4-D扫描仪有源镜面模型。这样可以最大程度地减少长时间的轨迹误差,最大程度地减少图像失真,并提高图像质量。为方便用户,NIKON NSR-2205 I12 D还包括一个LAN连接、图形用户界面(GUI)和一个基于PC的远程操作程序。这些功能使用户能够完全控制设备,并有助于提高生产过程的效率和精确度。总体而言,NSR-2205I12D是用于先进光刻生产的直观可靠的晶圆步进器,是满足设备制造需求的理想选择。高性能特性和精密的设计使其成为满足复杂光刻生产需求的理想选择。
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