二手 NIKON NSR 2205 i12D #9225157 待售
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ID: 9225157
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Stepper, 8"
Electric source: Nema box, i-line
Chamber type: ASAHI N2E-A
Reticle size, 6"
NIKON Reticle library: 10-Slot
Fixed reticle microscope
Maximum field size: 22 mm
PPD
Reticle bar code reader
Reticle case, 6"
Wafer size, 8" Semi
Wafer type: Flat zone
Wafer chuck, 8"
Pre-alignment 2: 8"
Wafer loader: Type2 (A3)
Chip leveling
No in-line
Wafer carrier table: Left / Right, in-line
Alignment sensor: LSA / FIA
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 5517C Laser
LSA Laser: 5 mW
NIKON OF Detection
Rack type: Right
Body-OP Rack cable: 3 m
Lamp power: 2 kW
SHRINC 3
VAX 4000/96
DAT Drive
CRT Monitor
Lens data
NIKON Hard Disk Drive (HDD)
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i12D是一种中高端晶圆步进器，用于半导体行业的制图和制造。它是一种强大的光刻工具,具有12英寸的磁场尺寸、400mm的晶圆处理能力和355nm的波长可供曝光。它具有i12成像性能的高精度和分辨率,以及超过当前行业标准的高帧速率（HFR）功能。NIKON NSR-2205I12D还有一个集成的Bruker光源，能够以30mA的远光电流进行扫描场曝光。NSR-2205I 12D是一个真正的晶圆级曝光系统，旨在应对当今工厂正在开发的越来越多和越来越复杂的设备。利用12个场大小,可减少切换时间调整和改善曝光均匀性。它还具有模块化的系统体系结构,允许随着用户需求的变化而添加或删除模块或组件。NSR-2205 I12 D具有许多其他功能,使其成为日常生产应用的强大工具。它提供高速设备曝光的高帧速率,以及高效节能选项。NSR 2205 I 12 D还有一个先进的光源模块，具有集成的Brüker光源和一个先进的曝光控制模块，带有可变的灯电流控制和曝光调制系统。NSR-2205 I12D配备了顶级控制软件和固件,使用户可以轻松重新编程每次曝光的模式和曝光参数。除此之外，用户有能力在不同曝光或曝光调制速度的五种曝光模式之间进行选择。此外,它还配备了多种要实现的光学器件,包括射线扫描校正透镜、线曝光光学器件和板闸等图样。为了进行维护,NIKON NSR 2205 I 12 D还提供了远程系统监视和操作,允许用户远程监视状态和故障。这在生产环境中特别有用,有助于最大限度地减少停机时间,同时提高生产效率。最后,NSR 2205 I12 D是半导体工业光刻的理想工具.它具有强大的成像、高速功能和模块化设计,为高效的生产模式提供了强大的工具。此外，其集成的Bruker光源和广泛的光学器件确保了所有的曝光都能以精确、可靠和准确的方式完成。
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