二手 NIKON NSR 2205 i12D #9238335 待售
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ID: 9238335
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Steppers, 8"
Lamp power: About 500 mW
Uniformity: 3.6%
NA Variable system: 0.63 δ
Reticle size, 6"
Fixed reticle microscope
Maximum field size: 22 x 22 mm
Reticle SMIF
Extender library: Left to right
Reticle case, 6"
Wafer type: Notch
Wafer chuck, 8"
Wafer chuck type: Ring
Pre alignment 2: Notch, 8"
Pre alignment 2: Hammer, 6"
Wafer loader: Type 3
Chip leveling
In-line: Left
Wafer carrier table: Left / Right
Alignment sensor: FIA (No wafer alignment assist microscope / LSA)
Rack type: Normal
Body-OP rack cable: 3m (Normal)
No wafer edge exposure
SHRINC: Type 1, 2, 3
No signal tower
No power meter / Test reticles (A,DIS,C,CD,MF)
No reticle cases
No remote controller
Chamber: ASAHI
Chamber temperature: 23.0°C
Hard disk drive (HDD)
Electric source with NEMA box 2-Lines for CVCF / UPS
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i12D是一款高性能扫描和曝光设备,专为满足先进设备制造商的需求而设计。NSR系列中的最新型号旨在实现高精度对齐和精确的可重复曝光。NIKON NSR-2205I12D利用全新设计的光学系统以及内置的ASML®电机和编码器接口,提供高重复性能和无与伦比的吞吐量。NSR-2205I 12D能够暴露直径可达12英寸的晶片,其数值孔径（NA）为0.6,使其分辨率和拍摄到镜头的可重复性提高± 0.5 µm。为了提高精度和可靠性，该装置采用了一种带阶梯状瞳孔的衍射限数值透镜机，可消除失真、光学像差和透镜耀斑，以实现最大均匀性。此外，其先进的主动对准工具以0.25微米的精度执行高达295,000个对准点，从而提供完美的设备对准。该资产还利用NIKON专利的"浴缸"控制模型来控制透镜温度、薄膜厚度和图桉精度等各种元素。NSR 2205 i12D的其他功能包括自动对焦功能、自动校准和高对比度监视器,可在晶圆检查和对准过程中提供增强的查看窗口。除了提供卓越的性能外,NSR-2205I12D还配备了强大的用户界面,用户可以轻松选择各种曝光和对齐选项。它还设计了一套像粒子误差和焦点变化这样的常见误差，可以很容易地用设备进行补偿和调整。所有这些功能使NIKON NSR-2205I 12D需要精确和快速吞吐量的设备制造商的理想选择。其卓越的性能和用户友好的界面使这种晶片步进成为市场上最好的之一。
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