二手 NIKON NSR 2205 i12D #9243749 待售

NIKON NSR 2205 i12D是一种最先进的晶片步进器，旨在支持范围广泛的晶片尺寸，从4"到8"。它具有紧凑、风冷的设计，适合在生产环境中运行。设备有多种对准选项，包括CAT、激光和光学对准。机动化级采用高精度步进电机，具有集成位置控制系统。步进器采用1kW长的弧形投影灯和高数值孔径的I线光学透镜。高保真光学和先进的微步进技术提供了卓越的聚焦均匀性和高衍射效率。光学单元在从深紫外线到红外线的广泛波长范围内运作，可以方便地适应各种光刻工艺。该机器可以针对从0.3 um到0.1um的各种分辨率量身定制，以支持最复杂的晶圆设计。该步进器还支持智能夹紧,可实现不同晶片基板的精确快速夹紧,并提供高效的过程控制和产量管理功能。NIKON NSR-2205I12D还具有一系列安全功能和用户友好的操作选项。这包括一个补偿性的铅螺杆工具，在资产启动和停止时提供对晶片的温和处理。一套环境传感器允许步进器在各种温度下运行，而内置晶圆对准模型则确保高精度和可重复性。架空载波使设备易于操作和维护，而用户友好的图形用户界面提供了用户和系统之间的直接连接。NSR-2205I 12D还能够产生具有明亮稳定光源和先进成像软件的高质量图像。此外,步进器可靠、经济高效,可提供出色的生产吞吐量。