二手 NIKON NSR 2205 i12D #9300305 待售

NIKON NSR 2205 i12D晶片步进器是一种一流的光刻工具，设计用于生产尺寸小至12 nm栅极长度的电路。该设备采用先进的十二轴级，以实现最大的定位精度和纳米级可重复性。最大舞台移动速度200毫米/秒，舞台定位精度6 nm。它配备了独特的无透镜成像技术，结合了"高分辨率级干涉仪"和一组用于光刻的"互动式激光二极管投影"。这种组合可以在更精细的特征尺寸上实现更精确和精确的成像,从而在10 nm工艺节点上实现60线和空间分辨率精度。NIKON NSR-2205I12D采用高精度、高速的XY扫描级,有助于确保整个晶圆内的覆盖精度无与伦比。一个集成的散射计功能有效地检测晶圆表面的地形变化，使得产生性能更高的设备，需要非常低的失真和排便成为可能。该系统具有业界领先的10-kW峰值高反射激光照射单元,可在整个晶圆上实现更快、更精确的成像,从而实现最高的生产率和一流的设备性能。为了最大限度地提高吞吐量并实现行业领先的均匀性，可以将光束分成多个光束，同时在整个晶圆上保持一致的性能。NSR-2205I 12D晶片步进器还集成了对齐标记,以进一步提高设备性能和减少排便,以及具有先进自动化的用户友好的机器体系结构。直观的图形控制软件套件支持OPC建模以及高级光刻应用。为了确保易用性和可靠的性能,该工具还配备了广泛的过程和计量保证工具。它也有几种不同配置的型号，使得它适合不同尺寸和材料的晶片。除了这些功能外,NSR-2205I12D晶片步进器还附带一系列服务选项,例如快速安装、培训和支持。这允许无与伦比的性能和可靠性，使其成为精密光刻应用用于小尺寸工艺的理想选择。