二手 NIKON NSR 2205 i12D #9389868 待售

NIKON NSR 2205 i12D是用于高精度、高分辨率投影光刻的晶圆步进器。设备可以配置广泛的可互换镜头、光学元件和曝光设置，使其能够满足各种应用的需求。NIKON NSR-2205I12D使用高精度、大幅面12英寸（300毫米）无掩模的Step and Scan Stage。此阶段允许在投影光刻过程中具有卓越的精度和分辨率。NSR-2205I 12D可容纳4至6英寸（100至150毫米）晶片,其成像视场可达36毫米x 36毫米,12英寸（300mm）晶片可达43mm x 43mm,具体取决于所使用的镜头。此步进器具有0.75 nm的线宽和12 nm的分辨率,可提供极其精确的特征尺寸。该系统配备了高对比度、多层干涉测量单元，提供所有应用层的高质量成像。该机器还设计用于快速暴露时间和低颗粒污染，这要归功于先进的空气过滤工具和化学辅助沉积（CAD）资产。NIKON NSR-2205 I 12 D为最大化过程重复性和最小化微缺陷,包括一系列对齐系统。步进器使用集成的自动对齐模型快速对齐晶圆几何形状和圆形迭加设备，以确保关键的对齐精度。NIKON NSR-2205 I12D是一种强大可靠的晶圆步进器，能够实现极其精确的光刻。该单元配备了所有必要的部件，以满足各种应用的需求，使其适合大大小小的生产。NIKON NSR 2205 I12 D具有出色的分辨率、高精度精度和阵列对准工具,是晶圆光刻的绝佳选择。