二手 NIKON NSR 2205 i14E2 #293610268 待售

NIKON NSR 2205 i14E2是一款先进的193 nm浸入式微光刻设备，专为超精密、高通量的微加工而设计。它提供14 nm的最大分辨率、450 mm x 450 mm的图像场大小以及扩展的聚焦深度。它具有先进的扫描仪和透镜系统,可确保尽可能高的吞吐量,并可提供出色的成像效果,用于标线和掩模对准,以及简单、直观的控制。该单元配备了新一代的i线相干高灵敏度模式（CHSM）光学器件，提供极高的光学性能。其特点是获得专利的波前适应、波前优化和偏振功能，以及改进的垂直对齐机，用于在附近使用晶圆进行高精度的迭加测量。该工具还具有直列式真空曝光后烘烤资产，可延长标线的使用寿命并确保一致的高分辨率成像质量。除了成像功能外,NIKON NSR-2205I14E2还配备了多种自动化功能,包括全场自动对准和内置自动校准、大大改进的打印机修补策略以及高级边缘放置调整。它还提供了在多达16个站点同时晶片图像的功能。该模型被设计为一种可靠、可重复的光刻设备，非常适合高产微加工。最后，NSR-2205 I14E2与APC和ITOx软件兼容，后者提供了强大的光刻工艺控制和管理能力。NSR 2205I 14E2具有快速的扫描速度、出色的成像效果和广泛的自动化功能,是精密晶片步进器应用的强大而通用的选择。