二手 NIKON NSR 2205 i14E2 #293778925 待售

NIKON NSR 2205 i14E2是为高级半导体工艺和光刻应用而设计的高性能步进器。该i14E2配备了自动调焦设备和内部限位开关，以确保晶片和光掩模的精确定位。该i14E2是一个具有精密光学单元的光刻系统，能够以0.25 µm的分辨率成像高达200 mm的大型基板。该机结合了高数值孔径和高分辨率，为生产光刻提供了一种通用的解决方桉。NIKON NSR-2205I14E2步进器利用High NA singlet投影透镜在广泛的曝光范围内获得最佳分辨率。该刀具的快速曝光速度为0.5秒/场，最大限度地减少了光刻工艺的污染，提高了吞吐量。透镜涂有多层抗反射涂层（MARC），以获得更大的亮度和对比度。i14E2晶片步进器还提供了0.5 µm ±的高对准精度，这要归功于它的双伺服自动对准资产。NSR-2205 I14E2配备了嵌入式计算机，使模型的操作既简单又简单。用户友好界面允许操作员快速配置设备设置、调整设置和管理晶圆数据。步进器可以远程操作，允许用户远程监视和操作设备。此外，该系统具有进行精密边缘曝光的能力，能够对精密结构进行高精度成像。为确保可靠性，该i14E2具有无尘工作环境和高对比度补偿滤波器，以改善对比度。最后，i14E2步进器具有高速晶片吞吐量，能够每小时处理多达200个晶片。总体而言,NSR 2205 i14E2步进器是一种功能强大且用途广泛的光刻设备,可满足任何类型半导体加工的生产要求。该i14E2具有高精度设计、快速曝光速度和高通量，是生产光刻应用的理想选择。