二手 NIKON NSR 2205 i14E2 #293794192 待售

NIKON NSR 2205 i14E2是一种高分辨率光刻步进器，设计用于生产任何给定尺寸的半导体晶片。设备配备了衍射受限光学系统，扫描范围大，性能和稳定性水平高。该设备是完全自动化的,并提供各种高级功能,包括模板编辑、可编程的微米增量以实现对齐,以及快速的吞吐量时间。该机包括一个数字孔径为0.63、分辨率为0.71 μ m的DUV微场曝光系列（MES）光学工具，提供在半导体晶圆上创建纳米级结构的能力。光学设备的设计目的是在整个视场中保持统一的阵列,并提供出色的对比度传递,具有高效的像差校正和衍射限制成像质量。该型号还包括10 x 10mm的大型扫描范围，以完全满足现代半导体制造商的需求。设备先进的矢量扫描技术提供了稳定的步进重复曝光和无振动的线针曝光。此外，该系统还具有较高的可重复性，可实现长期模式均匀性，并具有用于微米对准稳定性的间隙校正单元。机器可以从专用用户界面或通过其板载可编程逻辑控制器以多种方式进行控制。它还包括多种安全功能，如非接触式保护和快门、多个安全锁以及检测到温度过高时自动关闭。NIKON NSR-2205I14E2通过其高级功能（包括自动加载、卸载和暴露晶片的APC工具）提供了卓越的吞吐量。此外,其PTI调整允许用户在扫描过程中更正参数分散,而其模板编辑功能允许用户在曝光前可视化其模式。NSR-2205 I14E2是大型生产高性能半导体的合一步进器。其功能广泛、功能强大的工具集专为可重复性和准确性而设计,使其成为寻求可靠和通用光刻资产的制造商的绝佳选择。