二手 NIKON NSR 2205 i14E2 #293799874 待售

NIKON NSR 2205 i14E2是设计用于半导体工业的先进晶圆步进器。它提供高达0.07 μ米的分辨率和超过4,000个晶圆的超高吞吐量,并在22nm处进行全场曝光。该设备采用了先进的成像技术及其专有的场间曝光方法（IFEM）。这样可以提高字段之间的对齐精度,从而提高产量和产品可靠性。此外,NIKON NSR-2205I14E2还配备了改进的现场搜索（FSE）机制,有助于减少晶圆中的模式放置错误。强大的晶片步进器还包含一个受控的大气室（CAC）以提供稳定的环境，这有助于敏感材料的使用。它还具有一个大型的13英寸晶片加载台和一个16英寸的适配器板，用于精确可靠的晶片加载。NSR-2205 I14E2还提供了控制标线的高级功能,从而提高了阵列放置的准确性。它还具有自动化和精确的对准系统，从而提高曝光精度。此外，该装置还装有自动面罩表面检测机，有助于防止光刻缺陷。NSR-2205I14E2还包含一个前端工具端口和各种组件,这些组件允许与外部系统集成和连接。此外,该工具还配备了自动缺陷检查工具,以提高工艺性能。为确保最大正常运行时间,NSR 2205 i14E2具有软硬件诊断、远程诊断支持和预防性维护功能。它还配备了自动工具访问控制、全套图像处理参数和自动曝光控制。因此,这种先进的晶片步进器提供了卓越的性能、准确性和可靠性。