二手 NIKON NSR 2205 i14E2 #293808906 待售

ID: 293808906
优质的: 2006
Stepper 2006 vintage.
NIKON NSR 2205 i14E2是一种高性能晶片步进器,设计用于晶片的高精度和超高速处理。它具有14英寸的配置,允许对较大的部件进行成像或曝光,并提供更广泛的功能和选项。设备先进的图像光学和舞台运动系统,由于其先进的步进重复± 2.0 µm精确对准,提供稳定、精确、快速的图像定位,并具有最小的热失真和膨胀。该单元的成像机由一个主透镜及其各自的同轴成像透镜组成。主镜头调整以适应不断变化的图像失真,而成像镜头消除像差并提供最佳的图像质量。其高效的电机控制工具也最大限度地减少像差,以达到最大性能。凭借先进的电机控制资产,它可以将晶片移动到4,000mm/s,进行高速对准和移动。NSR 2205的0.7-13.0µm分辨率确保了亚微米大小的图桉可靠暴露。该集成模型还配备了四向扫描设备,配备了Quadra级传感器(QLS),用于准确检测四级目标。此外,系统还配备了自动曝光控制(AEC)以提高缝合精度,并配备了光束自动倾斜(BAT)功能来检测和补偿任何旋转误差。NIKON NSR-2205I14E2还配备了先进的温度控制装置,以保持最佳的工作温度,用于清洁和精确的晶圆处理。其先进的镜像传感器提供晶圆表面的实时监控和校正,以达到最大精度。该机先进的减振工具也有助于最小化由于振动造成的晶圆失真,使资产能够进行高精度晶圆处理。NSR-2205 I14E2是需要精确、速度和精度的生产环境的理想步进器。它的14英寸配置和高级功能使其成为各种晶圆步进器应用的理想解决方桉。NSR 2205 i14E2具有可靠的图像处理模型、精湛的对准和曝光精度,以及先进的温度控制和减振系统,为顶级晶片处理提供了最佳平台。
还没有评论