二手 NIKON NSR 2205 i14E2 #9217458 待售
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ID: 9217458
晶圆大小: 8"
Stepper, 8"
Notched Si wafer, 8"
Reticle, 6"
Inline with TEL ACT8
Chamber temperature: 23º C
Field size: 22" x 22"
Lamp power: 2.5 kW
Resolution: 0.35 μm
Altitude pressure: 995 mbar
Rack position: Right
Computer: NIKON NEST-α
In‐line track: Left side
Pre‐alignment orientation
Wafer carrier model
Wafer type: Notch
Wafer loader model: WL3 / Left in‐line
Wafer carrier table: Left & right
Reticle case type: NIKON Normal
(3) Reticle libraries
NCPR2
BCR
Multiple points auto focus
Chip (Table) leveling
FIA
LSA
Pellicle particle detector
On‐line interface
On‐line hardware: HSMS
MCSV 3.46A
OCSV 3.45P
Shrinc 4
Facility specifications: 208 V, 50 Hz, 3 Phase
Does not includes:
Down transformer
Europe safety & CE
LIA
Signal tower
Upgraded:
NEST Alpha console
Chamber FREON R407C.
NIKON NSR 2205 i14E2是一种最先进的晶圆步进器,由公认的成像产品领导者NIKON设计制造。这种步进器是光刻工艺的高效可靠工具,使芯片制造商能够生产出具有生产精度的设备。晶片步进器通过将光源(如激光或镜子)的光模制到晶片上来产生晶片上的特征。这通常用于半导体制造或研发。NIKON NSR-2205I14E2晶片步进器具有强大的性能和灵活性,是将图样精确对齐晶片的精密选择。它提供了13.5纳米的聚焦深度和13.8纳米的全场聚焦深度,使整个晶圆的曝光精度和均匀性都很高。它具有一个4英寸宽的投影镜头,提供广泛的曝光覆盖,甚至在大型晶圆模式。此外,它还支持各种光学设备以满足不同的应用和曝光要求。NSR-2205 I14E2晶片步进器提供一系列高级选项和功能,如高精度对齐设备、在线晶片映射系统、恒定速度和多次曝光、自动对齐调整等。对于高级集成和自动化,它可以与NIKON Lasers和Etchers系列配件完全自动化。这样可以确保每个晶片都能在生产环境中精确曝光。此外,该晶片步进器还配备了直观的用户界面,确保了晶片曝光单元的轻松精确的控制。它具有各种内置功能,以提高过程的准确性和效率。曝光时间和照明也可以用软件控制,让用户精确控制曝光过程。总之,NIKON NSR-2205 I14E2晶片步进器是芯片制造商的精密解决方桉.由于其精确的对准机器、高曝光精度和众多的自动化功能,它在成像和对准精度方面提供了卓越的性能。它是任何需要高精度和速度的生产环境的理想选择。
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