二手 NIKON NSR 2205 i8 #9248501 待售

NIKON NSR 2205 i8晶片步进器是专门为8英寸晶片设计的多功能光刻设备。该系统完全自动化，可用于各种光学光刻应用。它具有最先进的2 ×变焦镜头、双6位光学设置和新开发的i-line源。NSR 2205 i8晶片步进器能够以0.5微米的分辨率在小到5微米的硅晶片上精确再现图样。它具有先进的对准精度和减少退火时间的特点，这对于减少循环时间和降低晶圆产量至关重要。它配备了一个掩模对准单元和一个板载执行器，可以在光刻过程中将掩模精确地放置在晶圆的中心。NIKON NSR 2205 i8配备了扫描头和完全集成的软件，使用户能够准确控制光刻并保持可重复的性能。该机器采用双闪光曝光过程，可以在一次曝光中对微观特征和中观特征进行成像。它还提供了与流行的光刻设计系统（如磁带到磁带、CoreComplete和Maestro）的兼容性。NSR 2205 i8有两种不同的扫描模式：线性和离线。线性模式将图像直接渲染到晶片上,而离线模式将图像渲染到中间基板上,然后将其传输到晶片上。它还具有6X和12X两种不同的光学设置,以实现更高分辨率的成像。该工具提供了高级计量功能,包括内置的审查站、光谱扫描和自动对焦。此外，它还可以配备对齐验证资产、自动晶圆映射、对齐复选夹等可选功能。总体而言，NIKON NSR 2205 i8晶圆步进器是一种智能多功能光刻模型，专为8英寸晶圆而设计。它在图样精度和吞吐量方面提供了卓越的效果，使其成为高端光刻应用的理想选择。