二手 NIKON NSR 4425i #293604875 待售

ID: 293604875
晶圆大小: 8"
Stepper, 8".
NIKON NSR 4425i是下一代晶圆步进器,提供高精度、高吞吐量和经济高效的标线检查和计量。这种最先进的工具将业界领先的成像功能与无与伦比的环境性能相结合,使其能够处理从最先进的IC光刻处理到要求最苛刻的特征尺寸应用的所有问题。NIKON NSR-4425I的核心是该公司独有的DRY技术。这为用户提供了业界领先的失真和焦点校正,以获得最佳的成像性能,从而减少了扫描领域的光学像差。该装置能够设置224,000个步进场位置,并可产生高达3到8 µm的分辨率,用于0.25 µm设计规则和更大的设计。除了出色的光学性能和成像性能外,NSR 4425 I还提供了改进的安装时间、高基板吞吐量以及更少的晶圆和掩模鉴定步骤。该装置坚固的环境能力包括控制晶圆温度和湿度,以及低振动机构和低粒子振动过滤器。NIKON NSR 4425 I还提供了一系列计量功能,包括自动化和手动特性分析、合并和缝合,以及针对2D、3D和内联功能的自动光刻检查。它还提供数据挖掘、规则检查和其他高级分析功能,从而实现快速、精确的缺陷检测和过程鉴定。NSR 4425i设计时考虑了操作员的安全,它具有紧急停止按钮、安全盖(可让您无忧地检查晶片和掩面),以及低散射激光单元以控制粒子。此外,该单元还具有内置的过程控制功能,因此用户可以轻松调整光刻过程并监控计量操作,以确保获得最佳效果。总之,NSR-4425I是一种先进的晶圆步进器,具有很高的精度、准确性和性能.它具有DRY技术、环境控制、计量特性和安全特性,是半导体光刻和检测应用的理想工具。
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