二手 NIKON NSR 4425i #293606712 待售

ID: 293606712
Stepper Resolution: 0.7 NA: 0.3 Exposure wave length: i-Line Reduction: 1/2.5 Expose field: 44 x 44.
NIKON NSR 4425i是一种用于半导体制造的最先进的晶圆步进器。它独特地配备了大型光学器件和大型冷场发射枪(FEG)电子源,使得大型基板的加工成为可能。NIKON NSR-4425I的光学设备包括一个高质量的物镜、一个照明器和一个将光束分成两个不同光路的分束系统。物镜允许在基板内进行高分辨率扫描,而照明器在基板上产生均匀的光束强度。光束分割单元将光束分成两个光路,允许同时成像基板的两个不同位置。这样可以提高生产过程中基板的吞吐量和更好的均匀性。NSR 4425 I中的FEG电子源提供比传统场发射源更高能量的电子,使其能够更快、更精确地处理底物。此外,FEG源还提供了降低的噪声水平和更短的电子脉冲宽度-这些都可以改善晶圆步进器上的成像性能。NSR-4425I配备了一个全面的控制机器,提供远程和本地操作和机器的管理。它支持一系列形状布局,包括多边形、直线和曲线,以及几种模式移位和迭加控制操作。此外,用户可以选择比使用其他电子源的系统高20倍的工艺速度。总之,NIKON NSR 4425 I是一种先进的晶圆步进器,专为最苛刻的半导体制造工艺而设计。它结合了高分辨率的光学工具,增加了电子功率和综合控制资产,提供了更快的吞吐量和更好的底物处理效果。
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