二手 NIKON NSR 4425i #9225991 待售

NIKON NSR 4425i是下一代晶圆步进器，旨在支持纳米技术和半导体制造中引人注目的光刻应用。掩模与晶片的精确对准使半导体器件制造所用的光掩模实现了复杂、三维的模式传递和更高的可靠性。它是一种最先进的4束设备,非常适合0.15微米到5xnm的工艺。利用NIKON NSR-4425I,制造商可以提高工艺产量,提高基板上可打印特征的准确性。NSR 4425 I是一种投影对准器,速度和精度都非常高,可让它以低于10nm的分辨率每秒提供高达200步的速度。它提供了一个投影区,其晶圆尺寸可达200 mm,最大投篮尺寸为27mm,投篮到投篮的覆盖精度为1.5nm Liner Error。步进器还具有高精度线性级、振动屏蔽工作臂和基于CMOS的自动对焦系统。此外，NSR-4425I还可以配备高速精细对准装置，以实现高精度性能。NSR 4425i的投影仪使用的是四角照明机，一致性提高了100倍。它还配备了产生超大扫描场的高强度光源，使其能够更快、更准确地打印大基板。此外,NIKON NSR 4425 I能够在正交或弯曲场中精确分解用于打印的蒙版图桉。NIKON NSR 4425i用户友好,具有自动启动和自动停止操作、重复聚焦跟踪以及内置标准工具和设置的光刻库。内置设置均衡照明和生产条件，允许操作员根据工艺要求调整参数。此外,NIKON NSR-4425I还采用了先进的计量和缺陷测量工具.这一资产使用户能够准确地监视和测量对准、暴露形状和剂量、聚焦和边缘位置以及每个射门位置的污染,然后报告任何潜在缺陷。NSR 4425 I有各种各样的可编程选项，可以很容易地集成到生产线中。它具有集成的网络功能,便于从各种工作站远程监视和控制模型。该机器还能够与外部测试和计量系统相连接，允许用户收集详细的产品数据，以便进一步分析和过程控制。总体而言,NSR-4425I是一种先进的晶圆步进器,使制造商能够以卓越的速度、稳定性和准确性生产高精度、高精度的阵列。它是一种可靠、用户友好的机器，适用于广泛的光刻应用。