二手 NIKON NSR FX-601F #9255391 待售
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ID: 9255391
优质的: 1998
Stepper
Gen 2 (370 mm x 470 mm)
Gen 3 (550 mm x 650 mm) LCD panels
Resolution: ≦ 2.4 µm (Isolated pattern), ≦ 3 µm (L/S)
Projection magnification: 1: 1.25 x
Exposure field 120 mm square to 98.78 (H) × 138 (V) mm (≦ ø 169.71 mm)
Reticle size, 6"
Holds: ~(50) Reticles
Overlay: ≦ 0.5 µm (EGA, |M| + 3σ)
Throughput: (30) Shots, 65 sec (40 mJ/cm²)
1998 vintage.
NIKON NSR FX-601F是一种高性能晶圆步进器,旨在满足半导体行业苛刻的要求。该FX-601F提供了最先进的特征识别、精确对齐和过程控制。它拥有独特的溷合驱动设备,可以处理直径达8英寸的基板,可以容纳大场曝光或小场曝光,同时还提供先进的多场缝合和缝合优化。FX-601F的溷合驱动系统采用了直接驱动和齿轮驱动线性运动的组合,允许高可靠性的大型基板高速传输。此外,FX-601F还利用空气轴承装置,这有助于减少整体伸长和热膨胀,从而使各种环境的性能更加一致。这种特征识别技术也使FX-601F能够处理较小和复杂的基板。该FX-601F具有先进的多场缝合操作。这允许使用内置在机器中的优化软件进行高分辨率的缝合。此优化最大程度地减少了实现所需精度所需的字段、轨道和重迭的数量,并通过最小化用户输入来提供最大效率。该FX-601F还具有独特的高级特征识别工具。资产能够精确识别和注册具有高精度的特征,从而即使是最复杂的模式也能产生高收益率。FX-601F的高端光学器件确保了卓越的图像质量和高精度。该FX-601F还包括高速自动对焦模型,以及便于样品移动的电动舞台。该FX-601F包括一系列标准工具,可进一步提高生产效率并可靠地满足尽可能高的性能要求。该FX-601F的设计旨在减少停机时间、提高质量,并通过其高级功能确保高产量。NIKON NSR FX 601 F是一款先进的晶圆步进器,旨在满足半导体制造的苛刻要求。凭借其溷合驱动设备、特性识别、多场缝合能力,FX-601F是各种基板的可靠而强大的工具。其先进的光学、自动对焦系统和电动舞台最大限度地提高了生产吞吐量,允许精确的样品移动,并确保优越的图像质量。该FX-601F是一个理想的半导体制造工具,提供最佳的性能和可靠性。
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