二手 NIKON NSR G3A #293652738 待售

NIKON NSR G3A是下一代高精度晶片步进器，能够在半导体晶片上产生极其复杂的模式。这款晶片步进器配备了先进的光学设备，设计目的是为了满足大批量生产的最高需求。NSR G3A能够生成分辨率高达248 nm的模式。NIKON NSR G3A能够每小时曝光多达1400个晶圆，能够接受标准的6至8英寸晶圆，最大直径为200毫米。NSR G3A有一个扫描系统，由两个独立的galvano-mirror供电，每个galvano-mirror提供0.5nm分辨率。每一个镀锌镜都配有一个高r ality消色差透镜和可调节的光圈，以便提供对图样的锐利成像。NIKON NSR G3A有一个唯一的图像校正单元，它通过补偿介电常数变化引起的任何失真自动调整镜像图像。NSR G3A拥有一台先进的光刻机，能够产生线宽小至200 nm的图桉。晶片步进器能够将硅晶片暴露出最多4层铜、金和铝。NIKON NSR G3A具有高精度级，能够运动细至0.5µm（500 nm），最高速度为100 mm/sec。NSR G3A还配备了直观且用户友好的图形用户界面（GUI），使计算机易于编程和控制。菜单直观，操作简单，有一个易于使用的功能菜单，允许定制模式数据。NIKON NSR G3A有一个高度可靠的光束监视工具，可以不断监视光束的运动和曝光，以防止任何错误或损坏。为了确保高质量的生产,NSR G3A配备了详尽的诊断资产,可以不断监控其性能并检测生产中的任何问题。NIKON NSR G3A由一个非常强大的冷却模型提供动力，该模型调节温度并确保机器的高效冷却。NSR G3A还有一个可选的空气/净化设备,可确保清洁和无灰尘的暴露。总体而言,NIKON NSR G3A是一种先进的晶圆步进器,能够进行高度精确的光刻,非常适合大批量生产。独特的光学系统、图像校正单元，以及高度精确的级，使得这种晶片步进器成为可靠准确的半导体生产的理想选择。