二手 NIKON NSR G3A #9194239 待售

NIKON NSR G3A（晶圆步进器）是为研究实验室和晶圆制造开发的一种高度先进的光刻设备。它利用先进的技术自动对准和曝光晶片上的光掩模和标线，然后用于生产集成电路（IC）。NSR G3A有一个步进器,用于将图样从标线直接传输到晶圆平面。它具有高分辨率的激光光头，可以将扫描尺寸减小到亚微米级，以及高精度、高速的级系统，带有用于掩模对晶片对准和稳定接收的级跟踪传感器。此外，该单元还配备了图像减量机，可调节图样的减小放大倍数。该工具采用超高速一步移动,以实现精确对准和快速曝光。此外,使用简单的待机命令,资产可以随时启动,并在两分钟内从其上次曝光位置恢复。NIKON NSR G3A还使用KLA2D图像处理模型进行全自动对齐和压电分析。设备从多个曝光序列中自动识别晶圆边缘和覆盖对齐模式,以检查确切的曝光大小。NSR G3A的先进设计确保了其低相干照明系统能够对宽度为1微米或更小的孤立相关结构进行建模。此外,它的过程控制软件使用户能够执行校准测试以及创建和编辑曝光程序。这个单元还配备了一个机动化的掩模调平阶段，快速调整散光而不改变焦点。最后,NIKON NSR G3A是研究实验室和晶圆制造的理想选择.它的高分辨率激光光头、电动掩模调平台和简单的待机指令相结合，提供了一种高效的光刻机，能够在晶片上放置精确的图样。因此,此工具是创建集成电路的绝佳选择。