二手 NIKON NSR G6 #9284156 待售

NIKON NSR G6
製造商
NIKON
模型
NSR G6
ID: 9284156
Steppers.
NIKON NSR G6晶片步进器是一种先进的用于半导体器件制造的精密光刻设备。该系统能够成像晶片、光掩模、用于显示应用的大型基板、3D微结构等等。借助先进的晶圆级设计技术,这台设备可以为各种电气、机械、光学和电光器件,特别是半导体芯片制造和设计微观设计。该机采用0.52 NA设计,保证了优越的图桉均匀性。它还具有直观的用户界面和大舞台的节能设计,允许高通量和出色的重复性。其精密的曝光模式,最大精度1.2 nm,舞台时间优化。此外,NSR G6还配备了集成真空柱和校准技术,以提高稳定性.这样可以确保工具产生一致的质量模式,并可以处理具有挑战性的蚀刻和阵列应用程序。NIKON NSR G6以其先进的对准和对准控制能力设计用于最精确的层处理。它能够在优化CD均匀性的同时,一步步实现水平、聚焦和成像。此外,G6还拥有集成的计量系统,可提供实时成像反馈,以实现连续优化。该资产还具有主动除帽和防滑技术,以确保生产中的最高吞吐量和质量。由于NSR G6具有出色的曝光模型,它具有集成的ICP(感应耦合等离子体)源以及颗粒污染控制功能,并减少了潜在的规格外变异性。这使用户能够持续处理最具挑战性和最复杂的设备。与其他步进器相比,NIKON NSR G6晶片步进器提供了一定的精确度和一致性,成本仅为成本的一小部分。它是任何需要高精度、高生产率和可靠性的应用程序的完美解决方桉。此外,它的性能和成本效益相结合,使NSR G6成为满足任何设备制造需求的理想选择。
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