二手 NIKON NSR G7 #9226167 待售

NIKON NSR G7是一种用于制造集成电路的顶级晶圆步进器（步进光刻设备）。它具有先进的投影成像系统，能够将高达1500万个分辨率的元素投影到晶圆基板上。其高端分辨率为4 nm，立体光刻测量为5 nm，高速扫描能力高达每小时800晶圆，纳米定位精度在0.2 μ m以内。NSR G7的控制单元包括二维光学扫描仪、可变放大倍率的投影机和NIKON Pattern Generator（NPG）。光学扫描仪可实现可靠的成像,成像速率比以前的系统高10倍。投影工具具有很高的临界尺寸（CD）控制精度，包括NIKON专有的可变放大资产（VMS）技术。VMS允许用户为各种流程选择理想的放大倍率。NPG生成精确的模式,即使是更小的模式也具有出色的可重复性。NIKON NSR G7利用NIKON先进的工艺，包括无镜像自动对准、功能强大的模式发生器和工艺控制软件，进一步增强制造能力。无镜像自动对齐消除了手动对齐参考标记的需要。这种能力使得能够更快地在同一晶圆上制造高密度设计。NPG模式发生器在高级节点光刻过程中生成模式提供了极大的灵活性,提高了40%的生产率。为了减少流程优化任务的时间，流程控制软件使得无需编写程序即可自动调整和优化流程。NSR G7还配备了晶片与晶片对准的先进模型架构，使得大扫描场的放置精度达到1 μ m。因此,它提供了高吞吐量、出色的吞吐量均匀性以及更高的覆盖精度。该设备还具有一个彻底的自动夹紧系统，可以确保数千个晶片的加工和提高效率。总体而言,NIKON NSR G7是一款先进的光刻设备,在一台可靠的机器中具有极高的精确度、高分辨率和大量的功能。它是从前沿制造商到批量生产的各种制造工艺的理想选择。