二手 NIKON NSR i #293609515 待售
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NIKON NSR i是一种全自动晶圆步进器,旨在提高集成电路和MEMS基板的生产吞吐量。它提供了卓越的晶圆处理设备,并配备了高分辨率的光学成像系统。NSR i提供一流的晶圆传输技术,提供卓越的共平性能。该单元单程最多可扫描6英寸晶片,这使其成为最快的步进器之一。它还提供了广泛的曝光场,包括高达24mm和200 mm光学场的超大场。NIKON NSR i包括一个高级成像机,可以很容易地定制以适应不同的要求。它能够提供高达0.075 um的分辨率,并以模拟和数字格式提供。该工具利用了快速锁定扫描等高级功能,还能够对复杂的互连进行成像。NSR i提供了非常快速的晶片加载和转移资产,能够在不到25秒的时间内加载和转移多达12个晶片。该模型包括一个自动晶片处理设备,确保晶片在步进器内的精确定位,从而减少敏感表面上刮擦的可能性。NIKON NSR i可以很容易地与其他NIKON系统集成,例如NIKON Inspector和Metrology系统,以及第三方测试和测量仪器。这种无缝集成允许改进质量控制并加快生产吞吐量。为了确保最高效率,NSR i提供了一个高功率自动对焦系统,可以检测和校正镜头中的任何焦点漂移。这样可以确保每次扫描都以最高的精度和质量成像。NIKON NSR i是所有关于质量,效率和吞吐量.对于任何大容量晶片生产设置来说,这都是一个绝佳的选择,尤其是对于要求在工艺的所有阶段都具有卓越性能的MEMS制造商而言。
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