二手 NIKON NSR i10 #293634217 待售

NIKON NSR i10是一种顶级晶圆步进器，设计用于最先进的光刻工艺。NSR i 10提供卓越的性能,高吞吐量和分辨率,同时实现卓越的覆盖精度。该装置采用高度可靠、非接触式、气密的真空室，非常适合生产或研发。NIKON NSR i10由三轴电机驱动设备提供动力，允许在所有三个轴上进行高精度运动控制。双400kHz放大器可实现快速、同步的高速扫描和快速定位。此外,步进器还包括许多高级功能,例如实时焦点监控和自动对焦优化,从而实现了一致的性能和卓越的迭加精度。该单元还采用了紧凑接口系统（CIS）表单,可实现自动配置和轻松设置。步进器配有显微镜进行迭加评估，还配有用于异常检测的集成成像单元。先进的光学装置提供0.25微米的最小航空图像分辨率。而且，先进的照明机允许使用各种照明光源，并具有高度均匀的几阶暗场散射图桉，以尽量减少衍射效应。NSR i 10还采用了简化的高级对准程序，即使没有计量目标，也能保证精确的光栅对准。高精度运动控制扩展到所有元件，允许精确对准标线、抗蚀剂和光掩模。此外,步进器还具有足够的编程功能,具有复杂的逻辑操作和用户定义的脚本,从而可以集成到更广泛的工具中。紧凑的尺寸和轻巧的重量使NIKON NSR i 10成为空间受限区域的完美解决方桉。密封外壳和强大控制的结合使NSR i 10能够处理最极端的环境条件。强大的性能、高精度和多用途的特性使这种晶片步进器成为大多数生产应用的绝佳选择。