二手 NIKON NSR i10 #9237557 待售
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NIKON NSR i10是一种全自动晶圆步进器,设计时考虑到最大精度和吞吐量。该设备利用基于镜头的成像技术,快速准确地制作出正在处理的晶片的图像。NSR i 10通过将如此高水平的自动化集成到其设计中,能够在吞吐量和准确性方面超越以前的步进系统。NIKON NSR i 10的基本单元由150毫米固定级、x-y-z高度调节和可容纳多种镜头和工具能力的炮塔主轴组成。这与6轴机器人的运动相得益彰,让不同阶段的基板加工得以快速进行。还包括一个先进的光学系统,它包括一个具有可配置的场镜头阵列的轴上远心照明器,以及一个计算机控制的快门。这些功能以最小的光照波动提供准确、清晰的图像。NSR i 10还配备了多种成像功能,如高精度彩色滤镜,增加了图像清晰度,有助于突出缺陷。它还包括一个机动化的镜头对焦控制,以便更快和更精确的光学测量。此外,还提供了一个按需曝光单元,允许用户即时调整曝光时间,以适应不同的产品和工艺要求。在性能方面,NIKON NSR i 10机器能够产生高达100%的模具产量和0.2微米以下的特性尺寸,因此非常适合原型和生产级的微加工工艺。此外,该工具还与NIKON模式验证软件兼容,允许用户快速确定生成的图像是否符合所需的规格标准。总体而言,NSR i 10是微加工行业功能强大、功能丰富的工具,能够快速精确地处理晶圆。NIKON NSR i 10具有强大的成像和控制功能以及高性能测量,非常适合各种微加工应用。
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