二手 NIKON NSR i11D #293615304 待售

NIKON NSR i11D是为满足最苛刻的光刻要求而设计的精密晶圆步进器。该i11D采用最先进的成像和对准精度技术,是晶圆制造、高级封装、MEMS、TSV和3D打印应用的理想解决方桉。该装置配备了最新的NIKON光刻设备。它具有获得专利的单脉冲波束扫描系统，以实现卓越的成像性能，从而提高设备产量。NIKON Pro- Lith™软件提供了用户友好的界面和强大的自动化功能,可确保跨多个晶圆清晰一致的模式。该i11D还配备了先进的成像和对准装置。它利用高动态范围成像机和获得专利的局部网格对准（LGA）工艺，提供高达± 2微米的无缝对准精度。该技术使该工具能够可靠地定位和对齐传感器,从而为高级封装和MEMS技术提供最高的成像精度。I11D的高级阵列设计资产还具有超精确光束控制功能,可确保最高的成像精度。它能够精确调整梁电流、聚焦和切片设置,以优化所需的阵列分辨率。此外，它有一个灵活的基板旋转和倾斜校正模型，它提供了一个高水平的均匀性和精度跨多个晶圆。NSR i11D专为要求最高成像和对准精度的苛刻光刻应用而设计。凭借先进的成像和对准系统、卓越的成像性能以及先进的控制能力,它是晶圆制造、高级封装、MEMS、TSV和3D打印应用的理想解决方桉。