二手 NIKON NSR i11D #293807381 待售

NIKON i 11是一种可靠高效的晶圆步进器，旨在提供高性能和吞吐量。这种步进器配备了一种专有的、寿命长的深层紫外线供应源，称为i-line。这条线路提供250nm至最大394nm的高度稳定辐射，高功率稳定性± 3%。NIKON I 11包括真空和缺陷检测设备,通过检测和管理蚀刻前的缺陷来确保最佳图像质量。它还具有高分辨率对齐系统,减少了在每个阶段频繁重新对齐图像的需要。步进器为各种生产要求提供了几种曝光模式。I11的占地面积为6.3m x 4.1m,适合大多数晶圆厂环境。使用这种步进器，晶片可以加工到8英寸，这有助于提高产能。此外,它一次最多可处理57个晶片以提高吞吐量。I 11还具有精确的防反射涂层单元,即使存在晶片到晶片的变化,也能实现最佳的层覆盖,同时保持高精度。这样可以确保所有层均匀覆盖,不会形成任何阴影或缺陷。能够生产具有亚微米形状控制精度的3D/bump结构。最后，NIKON i 11包括一个集成的过程控制机，能够实现精确的逐层过程控制。加上高速和先进技术的XYZ级，这种步进器可以达到1.5 μ m ±的覆盖精度。它还配备了一套全面的数据管理工具，使管理晶圆处理数据更加容易。