二手 NIKON NSR i12D #293609816 待售

NIKON NSR i12D是一种通用晶圆步进器，用于先进的半导体制造工艺。其高精度和高生产率适合下一代设备的制造需求。该i12D配备了12英寸晶圆最大尺寸和两个由超高功率激光源产生的相干扫描激光束。这提供了极精确的对准精度，低至0.1µm，分辨率高达0.08µm。它能够同时暴露多个场大小，最终实现亚微米结构。此功能用于最小化生产时间并最小化半导体阵列制作过程中的校正量。该i12D还具有易于维护的可移动激光头，以及提高操作员效率的自动对准和对焦调节功能。此外,集成的光刻软件能够有效地控制模式和评估结果。此外,它还设计了低振动框架,以减少占用空间并保护周围环境。NSR i12D是一个灵活的平台,可提供交替订单曝光（AO）和独立曝光,同时支持一系列电源,包括标准和非标准镜头。它还支持薄膜涂层，以适应薄膜晶体管器件。动力方面，i12D配备了先进的9轴控制系统，在曝光过程中实现多轴控制。这将促进所有曝光操作的精确、可重复的性能。此外,其嵌入式模式校正软件还可以提高分辨率和特征尺寸精度。总体而言，NIKON NSR i12D是先进半导体工艺的理想晶圆步进器。它的特点使其非常适合下一代设备制造,使制造商能够缩短生产时间并提高产量。