二手 NIKON NSR i14E #293814088 待售

NIKON NSR i14E晶片步进器是一种先进的成像和光刻设备，旨在满足生产半导体器件的高性能要求。它具有先进的光学协调运动系统和精密制造平台.NSR i14E是NIKON旗舰系统之一，通过空气轴承技术和多选项6英寸自动盒式磁带弹匣（ACM）提供出色的成像性能。它结合了高分辨率、高速光学元件以及增强的真空控制和隔振功能,可实现100纳米以下的扫描分辨率和高通量速率。该单元基于步进重复模式设计，提供晶片相对于成像视场的精确移动，而无需快速、高频扫描。这样就可以在广阔的视野中对设备进行高度粒度、快速和准确的对齐。NIKON NSR i14E可以配置Advanced process control （APC）机器,该机器监视每一步的光学定位,并包含一个反馈回路,以进行可靠的对准和成像状态控制。该工具先进的晶圆处理技术最大限度地减少了晶圆加载时间，并支持超精确扫描以提供高产制造。NSR i14E还包括NIKON专有定位精度检查（PAC）资产,可确保可靠的晶片与晶片对准精度。此模型还跟踪步进器的输出精度,并提供设备制造过程的可追踪性。NIKON NSR i14E的集成数据记录系统提供了所有光刻活动的详细跟踪，包括位置、焦点和曝光功能。这允许对硬件和软件问题进行故障排除和根本原因分析。除了卓越的成像性能外,NSR i14E还可提供卓越的可靠性、能效和成本节约。由于其高品质的晶圆传输单元，该机器非常适合广泛的设备生产应用。NIKON NSR i14E提供可靠和一致的结果,无论生产环境或需求如何。其集成的空气轴承技术有助于防止污染并最大程度地减少停机时间，而其自动化控制工具确保其始终在最佳参数内运行。该资产由NIKON着名的技术支持和客户服务提供支持,并根据需要提供软件升级。NSR i14E晶片步进器是需要卓越性能和可靠性的半导体器件生产和自动化应用的理想选择。其空气轴承技术、精密光学扫描和先进的控制模型使其成为高产半导体制造的理想解决方桉。