二手 NIKON NSR i7 #9226166 待售

NIKON NSR i7是为光刻应用而设计的高性能光刻设备。它是一种晶圆步进器，能够产生极精确的图样，具有先进的特征和覆盖精度。NSR i7使用了五个光学模块，每个模块都包含一个孤立的光源、透镜和精密级，为系统提供出色的高分辨率成像能力，以成功制图高密度电路。此单元还结合了许多薄膜阵列技术,在一个步骤中创建复杂的设计和3D特征。NIKON NSR i7设计为能配合正负成像、电子束光刻、直接书写、深紫外线照射等多种光刻技术。该机采用了先进的扫描仪设计，能够产生高精度的划线轮廓和改进的CD线性。它还提供精确的激光对准功能，能够在0.1 μ m的精度范围内快速对准图样。该工具与广泛的工作处理单元集成，包括用户终端、曝光站、清洁站、高阶对齐资产和图像-数据处理单元。NSR i7具有先进的检查和测量功能,可实现快速、简单的设备优化。它还具有自动过程滤波器控制功能,可提高设备产量.NIKON NSR i7由ATHENA软件套件提供支持，该套件包含用于检测、分析和可视化缺陷的内置工具。此软件包旨在帮助用户最大化其整体集成过程性能。它还具有一个大屏幕和触摸屏，以便快速和方便的模型操作和编程。NSR i7具有可扩展的3级级设计,为晶片装卸以及各种晶片处理系统的集成提供了用户友好的步骤。晶片级采用可调节真空设备设计，以支持更大范围的晶片尺寸。晶片盒以最高精度和速度将晶片加载到正确的位置。凭借超高吞吐量,NIKON NSR i7为客户提供了改进的设备产量、生产率和成本节约。系统的直观用户界面和高分辨率成像功能确保使用NSR i7设备的产品符合最高质量标准。