二手 NIKON NSR i8 #293757131 待售
网址复制成功！
单击可缩放
NIKON NSR i8是一个先进的步进/扫描仪平台。它具有高分辨率和工艺灵活性,为传统光刻提供了经济高效的替代方桉。利用NIKON模块化方法，i8可以随着最新技术的发展而更新和更新。NSR i8的步进/扫描仪对准设备采用了专利的多轴扫描步骤（MASS）技术。这提供了以相同的运动控制精度同时聚焦多个轴。其高精度伺服系统还提供了向前/向后的直观运动，定位，并专注于各种基板。NIKON NSR i8还通过其新的准分子激光装置提供了工艺灵活性。这包括各种基板，包括玻璃、陶瓷和石英的图样的可变机电烧蚀。其获得专利的光束轮廓调整程序有助于进一步定制特定产品要求的过程。NSR i8提供先进的光刻成像性能,提供良好的覆盖对齐和图像均匀性.它能够以小至0.1µm的分辨率成像，其大孔径成像尺寸允许成像更大、更精确的图样特征。集成激光冷却机可确保稳定的成像条件,减少长时间曝光时的图像像差。对于过程控制,NIKON NSR i8提供了一个智能过程调整（IPT）软件包,可帮助在光刻过程中监控和控制过程条件。IPT还包括实时工艺优化、状态监控、反馈环路控制和配方优化，都有助于实现可重复晶圆制造。NSRi8为各种晶圆加工需求提供了有效可靠的光刻工具。它的自适应解决方桉增加了灵活性和高效的过程控制,以满足高级成像要求、减少停机时间和提高吞吐量。
还没有评论