二手 NIKON NSR S202 #293815006 待售
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ID: 293815006
Scanning stepper
Process: Deep Ultraviolet (DUV) scanning
Missing parts:
Fine Alignment (FIA) unit
Reticle blind unit
Interferometer laser power
Fly’s eye lens
Relay lens.
NIKON NSR S202是晶圆步进器,是许多用于半导体光刻工艺的高精度机器之一。本机设计用于曝光(掺杂)高密度大晶片,实现光刻工艺。它具有大画幅扫描结构,可以处理直径达200毫米的晶圆,最大可用尺寸。NSR S202具有优化的快门控制设备,可减少曝光时间并提高对准精度。它也有一个高性能的图像形成系统,利用角度入射照明技术,允许高精度成像,甚至在晶圆边缘。高质量的图像形成和快门控制单元的结合有助于在广泛的"难以加工"基板上创建精细的细节图桉。NIKON NSR S202能够在各种表面上产生非常高分辨率、高灰度的图像。其出色的图像放大倍率和扫描精度确保了高度图案化的晶片可以轻松处理。除了技术规格外,NSR S202还易于操作和维护。它还配备了直观的图形用户界面,并且可以添加无端口LAN网络的选项来创建分布式光刻机。由于其强大的构建和可靠的性能,它确保了任何应用程序的高生产率和优越的产量。Nikkon NIKON NSR S202晶圆步进器是半导体生产技术的完美机器,提供一致的高质量图像和可靠的吞吐量。
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