二手 NIKON NSR S203 #9229310 待售

NIKON NSR S203
製造商
NIKON
模型
NSR S203
ID: 9229310
晶圆大小: 8"
Scanner, 8" With CYMER ELS-5405 Wafer type: Notch Does not included lens data.
NIKON NSR S203是日本相机制造商NIKON开发的晶圆步进器。该装置设计用于大容量半导体制造应用以及大中型装置的模式对齐。它结合了一套独特的功能-包括高分辨率、高放大倍率的光学设备、先进的模式识别技术和最先进的对准处理器-以实现最大的产量和效率。NSR S203晶片步进器具有较长的工作距离和改进的自动晶片对准系统。它具有独特的舞台单元,能够稳定,高速扫描和精确晶片夹紧。该设备能够快速、精确地进行晶片与晶片的对准,从而实现不间断的过程。步进器配备了一个集成的XY级,能够在一次射击中驱动多达三个晶片。该设备采用高性能、高精度的光学器件。它提供精细的分辨率级别,从而实现非常精确的对齐。NIKON NSR S203晶片步进器还能够进行复杂的成像过程以及过程中的模式对齐。成像机为全彩CCD相机,像素间距宽,分辨率高达25线/毫米。它甚至可以检测到甚至很小的表面瑕疵。NSR S203晶片步进器配备了一个大型高速图像处理平台,能够处理多个模式识别任务而无需任何额外的处理。它可以精确测量各种参数,如线宽、临界尺寸、图桉放置、边缘分辨率、线宽等高速测量。其先进的模式识别算法确保每一分钟检测到的模式被正确识别和准确处理。NIKON NSR S203晶圆步进器也采用高安全标准设计。所有机器部件均由能够在大多数工业环境中运行的优质材料制成。其简单的控制面板还设计了最大限度的安全特性。总体而言,NSR S203晶片步进器是一种先进且高效的设备,非常适合多种半导体制造过程。其先进的功能和独特的特性使其成为业界最好的晶圆步进器之一。
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