二手 NIKON NSR S203 #9315286 待售

NIKON NSR S203是一种高性能晶圆步进器，设计用于高精度光刻应用。该装置配备了舞台运动的4轴、6轴或7轴设备，使得极高的分辨率达到0.5nm。该系统的设计使得它可以调整到不同的晶圆尺寸，以及不同尺寸的基板。最初的NSR S203是一个双光束光刻单元，包括一个长寿命的灯能够提供一个衍射有限的照明范围广泛的波长。NIKON NSR S203采用了多项专有技术来实现高通量扫描和亚微米精度。其中包括自触发框架插入器（STFI）机器、扫描控制自动调谐（SCAT）工具和空气轴承舞台运动控制资产。STFI模型的8英寸直径标线确保了最高性能吞吐量,并确保了整个标线交换过程中的高精度。SCAT设备可通过即时调整扫描参数来确保精确扫描,而空气轴承舞台运动控制系统则可通过高速控制器实现步进和重复扫描模式。NSR S203还配备了全套打印对齐和计量解决方桉。该设备与对准摄像机和低功率视觉检查组（VIS）集成在一起，可提供无关联模式对准，并协助监测印刷模式。VIS有助于检测迭加误差、线宽和形状测量,以及2D和3D表面粗糙度测量。采用多种校准算法提高工艺精度，减少迭加误差。NIKON NSR S203还采用了先进的光刻优化算法，提高了整体步进性能和精度。优化算法利用先进的软件自动确定了工艺的最佳曝光参数，从而提高了设备产量和优良的制图性能。该机器还提供了多种阵列工具，有助于最大限度地减少浪费的晶片和光刻缺陷。综上所述，NSR S203是为高精度光刻应用而设计的高性能晶圆步进器。它配备了多种专有技术，以实现高通量扫描和亚微米精度。该设备还与大量的打印对齐和计量解决方桉以及光刻优化算法集成在一起，以最大限度地提高性能和准确性。